CJHL系列磁控多弧真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:08:50 人氣:17971
CJHL系列磁控多弧真空鍍膜機

工作原理

CJHL系列多功能型真空鍍膜機中集成了多弧離子鍍膜與磁控濺射鍍膜兩種沉積技術與一體化,特別適用于鍍制多種金屬膜,也可以鍍多層膜、合金膜及化學物質,如鍍超硬耐磨損膜、防腐蝕膜、裝飾膜(金、銀、黑、紅、藍、綠等顏色)、結合磁控濺射技術可鍍制多層復合膜,可以鍍制不銹鋼、鋁、鈦、鎢等多種金屬膜,也可鍍制如TiN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、CU、AU、金剛石膜(DLC)、裝飾膜等非金屬及其化合物的膜層和復合膜層。

應用范圍

適用于五金件、玻璃工藝品、陶瓷工藝品等,如手表、手機金屬殼、潔具、模具、電子產品、水晶玻璃、眼鏡框、餐具、刀具等。近年,電弧離子鍍膜技術得到了很大的發展,從原來單一的小弧源發展到柱弧、大平面弧等。而且與中頻磁控濺射技術的結合使得設備的適用面更廣,比如在硬質涂層的應用、更光潔細密的裝飾涂層的應用等。

產品特點

1) 裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。
2)綜合了磁控鍍與多弧鍍的特點,覆蓋領域廣泛,能夠在各種材料上鍍制各類功能膜、裝飾膜和帶裝飾效果的功能膜。

技術參數表

CJHL系列磁控多弧真空鍍膜機
型號CJHL-600CJHL-800CJHL-1000CJHL-1200CJHL-1400CJHL-1500CJHL-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散泵機組KT500擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜系統直流電源或中頻電源+多弧鍍膜電源、多功能孿生磁環弧靶+矩形平面靶+圓柱磁控多弧兩用靶(可選配)
輔助鍍膜系統低溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫系統)
充氣系統質量流量計質量流量計質量流量計質量流量計質量流量計質量流量計質量流量計
控制方式手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa5X10-4Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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